磐一（西安）装备技术有限公司专业设计的电子束区域熔炼设备由炉体部分、夹料部分、真空系统部分、电子枪部分、高压电源部分、自动控制系统、水冷系统等组成。要求整体结构紧凑，布局合理，维修维护方便。
（1）炉体部分：炉体为立式结构，包括304L不锈钢炉体、不锈钢炉门、碳钢架体等配件。
（2）温度控制系统：加热部分、测温控温仪表等。
（3）电子枪：电子枪有三块聚束极和一块紫铜底板以及灯丝和相关高压绝缘件组成。
（4）真空与气氛控制系统：真空泵、真空测量装置、管道、阀门、接口等。管道、阀门一律采用不锈钢或更优质材质。
（5）电子枪移动系统：电子枪移动系统应带有水冷系统，由不锈钢制造，伺服电动缸进行传动。
（6）集成控制系统：可将炉体、真空系统、温控系统等相关仪表的控制集成到控制台）。
（7）冷却水循环系统：工艺冷却水循环管道、阀门均采用不锈钢或更优材质，以确保水质稳定。
（8）安全连锁装置与预警系统：冷却水和气氛控制中超压和冷却能力不足时，有安全连锁和必要预警。
电子束区域熔炼
区域熔炼设备是将提纯的材料制成细棒，通过电子束加热，使一小段固体熔融成液态，熔融区域液相温度仅比固态材料的熔点高几度，稍加冷却就会析出固相。熔融区沿着轴向缓慢移动，杂质也随着移动，最后富集于棒的端部。精炼时间通常为多个小时，在试棒进行区域熔炼之后，将端部杂质含量高的部分切除，再进行第二次、第H次提纯处理，达到提纯目的。运用区域熔炼，不仅可以将杂质均匀的渗透到晶体中去，而且在这一过程中，位错结构缺陷、夹杂物等可以得到有效控制，甚至被消除。用区熔堆积法可以制备单晶。
成功案例：某科研研究单位
电子束区域熔炼参数：
电 源 | AC380V | |
使用温度 | 3500℃ | |
加热方式 | 电子束 | 环形电子束枪 |
测温方式 | 红外测温 | |
真空系统设备 | 进口分子泵口径暂定为250mm，抽速大于2400L/s | |
冷态极限真空度 | 6.67×10-4Pa | |
泄漏率 | ≤5×10-5PaŸm3/s | |
棒材升降行程 | 600mm | |
主炉室形状 | 圆柱状或椭圆 | |
区熔杆转速 | 1～50r/min | |
电机运动精度 | 0.02mm/s | |
额定输出电压 | 0 kV -30kV | 主高压 |
额定输出电流 | 2.5A | |
额定输入电压 | 0-30V | 灯丝电压 |
额定输入电流 | 100A | 灯丝电流 |
金属棒料 | （Φ8-Φ15）×300mm | |
在高真空下可对难熔金属（钨、钽、钼、铌、铪、钒)进行单晶提纯 | ||
