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电子束区域熔炼炉(提纯制备单晶)圆满完成

发布时间:2022年10月25日 20:55:44

      磐一(西安)装备技术有限公司专业设计的电子束区域熔炼设备由炉体部分、夹料部分、真空系统部分、电子枪部分、高压电源部分、自动控制系统、水冷系统等组成。要求整体结构紧凑,布局合理,维修维护方便。

      (1)炉体部分:炉体为立式结构,包括304L不锈钢炉体、不锈钢炉门、碳钢架体等配件。

      (2)温度控制系统:加热部分、测温控温仪表等。

      (3)电子枪:电子枪有三块聚束极和一块紫铜底板以及灯丝和相关高压绝缘件组成。

      (4)真空与气氛控制系统:真空泵、真空测量装置、管道、阀门、接口等。管道、阀门一律采用不锈钢或更优质材质。

      (5)电子枪移动系统:电子枪移动系统应带有水冷系统,由不锈钢制造,伺服电动缸进行传动。

      (6)集成控制系统:可将炉体、真空系统、温控系统等相关仪表的控制集成到控制台)。

      (7)冷却水循环系统:工艺冷却水循环管道、阀门均采用不锈钢或更优材质,以确保水质稳定。

      (8)安全连锁装置与预警系统:冷却水和气氛控制中超压和冷却能力不足时,有安全连锁和必要预警。

    电子束区域熔炼是一个复杂的物化提纯过程,材料中的杂质由于在固态和液态中的分配系数不同,经过区熔生长被驱赶到料棒的末端而起到提纯作用。对于金属杂质来说,其去除不仅依靠区熔提纯,依靠高温下的直接蒸发。气体和其它依靠高真空下的脱气和化学反应去除。

    此项目的圆满完成,标志着此项技术真正实现了“中国造”;


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